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1、采用mdc驱动系统(非接触式 棘轮机构) 2、抽屉式胶纸拉出机构 抽屉式滚轮拉出机构 3、对板厚40um的基板也能正常清洁,不会卷板
清洁基板尺寸 幅宽max620mm或幅宽max720mm 板厚:0.1-5.0mm(选择配置,可以对应40um-5.0mm)
超薄型 2段滚轮式设备 宽185mm 对应薄板 根据选择配置可以对板厚0.04mm的薄板进行清洁 可以清洁最大的基板宽度为720mm